دراسة مقارنة لأفلام سداسي ميثيلوسيليوكسان وأوكتامي ميثيل سيكلوتيتراسيلوكسان كسلائف لأفلام ثاني أكسيد السيليكون

تهدف الدراسة إلى التحقيق في ومقارنة قدرة اثنين من السلائف المختلفة ، Hexamethyldisiloxane و Octamethylcyclotetrasiloxane ، في إنتاج أفلام ثاني أكسيد السيليكون. أظهرت نتائج التجربة أن كلا السلائف كانت قادرة على إنتاج أفلام ثاني أكسيد السيليكون عالية الجودة ، ولكن كانت هناك اختلافات طفيفة في خصائصها.

Hexamethyldisiloxane ، أو HMDSO ، هو مقدمة مرحلة الغاز تم استخدامها على نطاق واسع في إنتاج أفلام ثاني أكسيد السيليكون لمختلف التطبيقات الصناعية. تم العثور على السلائف لإنتاج أفلام ذات معدلات ترسب عالية وتجانس جيد. من ناحية أخرى ، فإن Octamethylcyclotetrasiloxane ، أو OMCTS ، هو مقدمة سائلة أقل استخدامًا في هذه الصناعة. ومع ذلك ، تم عرض OMCTS لإنتاج أفلام ذات خشونة منخفضة وسمك مقارنة بـ HMDSO.

كشفت الدراسة أيضًا أن اختيار السلائف يمكن أن يكون له تأثير على الخواص الفيزيائية والكيميائية لأفلام ثاني أكسيد السيليكون. أظهرت أفلام HMDSO مؤشر انكساري أعلى وكثافة أقل مقارنة بأفلام OMCTS. بالإضافة إلى ذلك ، تختلف التركيب الكيميائي لأسطح الفيلم قليلاً ، حيث تنتج OMCTs المزيد من مجموعات الهيدروكسيل على سطح الفيلم.

بشكل عام ، تبرز الدراسة أهمية اختيار السلائف المناسبة لتطبيقات محددة. في حين أظهر كل من HMDSO و OMCTS فعاليته في إنتاج أفلام ثاني أكسيد السيليكون ، فإن الاختلافات الطفيفة في خصائصها قد يكون لها آثار في بعض التطبيقات. ومع ذلك ، توفر نتائج الدراسة نظرة إيجابية لاستخدام كل من السلائف في إنتاج أفلام ثاني أكسيد السيليكون عالية الجودة.